molbloc/molbox1+ 气流校准系统是校准气流计、热质量流量控制器 (MFC)、转子流量计等流量测量设备的解决方案。molbloc/molbox 可开展实时测量,无需移动部件即可获得多个不同气体与工作压力的可溯源校准支持,在众多行业内得到了广泛应用,包括制药、半导体、航空、环境监测、发电、参考气体配方、标准实验室等。
molbox1+流量测试主机
内置2个高精度石英参考级压力传感器(Q-RPT)
绝压:± (0.01 % 读数或 0.003 % Q-RPT 跨距,取大值 )
差压 (A700K ) :± (8.4 Pa或 0.032 % ΔP,取大值 )
差压 (A350K ) :± (4.2 Pa或 0.026 % ΔP,取大值 )
molbloc-L层流元件模块
利用层流状态的气流上下游差压与流速成正比的关系测量气体流量
特级标定:流量测量不确定度为读数的±0.125%
标准标定:流量测量不确定度为读数的±0.2%
量程范围:最小(0-10) sccm;最大(0-100) slm
支持类型:上游&下游
molbloc-S音速喷嘴模块
利用喷嘴在临界条件下的质量流量与入口绝对压力成正比的关系测量气体流量
特级标定:流量测量不确定度为读数的±0.125%
标准标定:流量测量不确定度为读数的±0.2%
量程范围:最小(0.2-5) slm;最大(200-5000) slm
量程可扩展至20000slm
支持类型:正压&负压