TONiC系列是雷尼绍推出的超小型非接触式增量式光栅系统,速度可达10 m/s,与Ti接口配套使用时,在线性和旋转应用中分辨率达1 nm。由于安装公差宽松,并且只需按下按钮即可进行校准,因此TONiC系统的安装快捷简单。TONiC光栅的动态信号处理功能可提高信号稳定性,而且电子细分误差超低,通常小于±30 nm,从而有助于实现卓越的运动控制性能。
此外,其还具有两个特定应用型号:
TONiC UHV将增量式光栅技术引入低至10-10 Torr的超高真空应用中,这类应用要求在紧凑的外形中保持高性能。
TONiC FS(功能安全)已获得SIL2和PLd认证,可用于功能安全应用。
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